GP200 - Differenstrykbaseret Mass Flow Controller (MFC) - når høj nøjagtighed er et proceskrav
Brooks Instruments GP200 differenstrykbaseret Mass Flow Controller med et unikt teknisk design, der overvinder de eksisterende begrænsninger i de nuværende trykbaserede Mass Flow Controller, muliggør en meget nøjagtig gasflow gennem processen under varierende forhold. GP200-serien er den første fuldt trykuafhængige trykbaserede Mass Flow Controller fra Brooks (P-MFC), der er designet specielt til avancerede ætsnings- og aflejringsprocesser inden for semiconductorindustrien.
Produktnyheder
Gp200 trykbaserede Mass Flow Controller
P-MFC'er i GP200-serien har en patenteret arkitektur, der overvinder begrænsningerne ved konventionelle P-MFC'er for at give den mest nøjagtige procesgasforsyning, selv ved procesgasflows med lavt damptryk. Den indeholder flere unikke designaspekter, herunder en integreret differenstrykssensor kombineret med en nedstrømsventilarkitektur. Dette giver den mest nøjagtige procesgasflow over det bredeste udvalg af driftsbetingelser i branchen.Anvendelsesområder:
- Anvendelsesområder: Semiconductorindustrien
- Ætsning
- Kemisk dampudfældning (CVD)
- Gasflow-kontrolapplikationer, der kræver en høj renhed af hele metallet i flowet.
Hvorfor du skal vælge GP200-Mass Flow Controller?
Fordi GP200-serien af Mass Flow Controller understøtter et meget bredt spektrum af procesbetingelser, kan den bruges som en drop-in erstatning og opgradering for mange traditionelle P-MFC'er og termiske MFC'er. Den reducerer kompleksiteten og omkostningerne af gasflowsystemet, da den eliminerer behovet for komponenter som trykregulatorer og omformere.
Reduceret måleusikkerhed ved hjælp af en differenstrykssensor, der giver overlegen nøjagtighed og repeterbarhed i flowmåling.
Egnet til alle procesforhold, tryk og gasser.
Præcis og gentagelig gaslevering, 2,5X hurtigere flowstabilisering for øget flow.
Fordele:
- Ved at fjerne kravet om at matche og kompensere to separate tryksensorer reducerer GP200 differenstrykteknologien måleusikkerheden for at øge nøjagtigheden, repeterbarheden og driftspræcisionen.
- Sikrere fabriksdrift ved lavere indgangstryk er nu mulig med en P-MFC takket være GP200 differenstrykssensoren, som er specielt optimeret til måling af lavt differenstryk.
- Den downstream-baserede ventilarkitektur sikrer, at nøjagtigheden er uafhængig af downstream-trykket, hvilket muliggør flow ved tryk på helt op til 1,6 Bar. Den hurtigt lukkende ventil afhjælper ikke-produktive ventetider for opskrift, eller "svaneeffekter", som ses i upstream FC-ventilkonstruktioner, der kræver ekstra tid til at tømme deres interne gasvolumen.
- Ultrahurtig, meget gentagelig op- og downstreamstabiliseringstid forbedrer processtyring i avancerede højcykliske udfældnings- og ætsningsprocesser med høj cyklus.
- 100 gange bedre lukning af ventilen.
- Med MultiFlow™ kan MFC'ens fulde flowområde nedskaleres med en faktor 3:1 uden at påvirke nøjagtighed, turndown eller lækage til specifikation, hvilket giver optimal proces- og lagerfleksibilitet.
- Praktisk brugerdisplay og uafhængig diagnose-/serviceport letter installation, overvågning og fejlfinding af enheden.
- Metaltætnet ultrahøj renhed.
Funktioner:
- Præcist differenstrykmåling
- Drift med lavere indgangstryk
- Arkitektur for downstreamventiler
- Tilpasset transient respons
- Nul lækage gennem kontraventil
- MultiFlow™-teknologien giver uovertruffen fleksibilitet - én enhed kan programmeres til tusindvis af forskellige gas- og flowkonfigurationer uden at fjerne MFC'en fra gasledningen eller gå på kompromis med nøjagtigheden.
- Lokalt display viser flow, temperatur, tryk og netværksadresse.
- DeviceNet™, EtherCAT®, RS-485 L-Protocol og analoge grænseflader.
Du finder GP200 her:
Kontakt Danni eller Nicholas for at høre mere:
Flowcontrol og trykregulering
Se alle vores Mass Flow Controller:
